Kính hiển vi quét đầu dò

Bách khoa toàn thư mở Wikipedia
Bước tới: menu, tìm kiếm

Kính hiển vi quét đầu dò (tiếng Anh: Scanning probe microscopy, thường viết tắt là SPM) là tên gọi chung của nhóm kính hiển vi mà việc tạo ảnh bề mặt của mẫu vật được thực hiện bằng cách quét một mũi dò nhỏ trên bề mặt của mẫu vật. Nhóm kính hiển vi này ra đời vào năm 1981 với phát minh của Gerd BinnigHeinrich Rohrer (IBM Zürich) về kính hiển vi quét chui hầm (cả hai đã giành giải Nobel Vật lý năm 1986 cho phát minh này).

Các loại SPM[sửa | sửa mã nguồn]

Hiện nay, người ta đang sử dụng và phát triển nhiều loại kính hiển vi quét đầu dò, có thể phân ra thành một số loại như sau:

Ưu điểm của SPM[sửa | sửa mã nguồn]

  • Độ phân giải của kính không bị giới hạn do hiện tượng nhiễu xạ, mà chỉ bị giới hạn bởi kích thước của tương tác giữa đầu dò và mẫu, có thể nhỏ tới cấp picomet (10−12 m).
  • Tương tác giữa mũi dò và mẫu được sử dụng làm một công cụ thao tác trên bề mặt, nhằm tạo ra các chi tiết nhỏ trong công nghệ nano (đây là kỹ thuật nanolithography - điêu khắc nano).

Nhược điểm của SPM[sửa | sửa mã nguồn]

  • Quá trình ghi ảnh thường rất chậm do quá trình quét đòi hỏi thời gian lớn.
  • Kích thước ảnh không lớn
  • Chỉ cho ảnh vi cấu trúc bề mặt.

Xem thêm[sửa | sửa mã nguồn]

Tham khảo[sửa | sửa mã nguồn]